HSCV series
용도
Furnace Process중 Oxide/Anneal설비의
Chamber Pressure 제어 사용
특징
Motor / Bellow Type Linear Motion Control
경쟁제품 대비 Powder에 강하여 Trouble최소
경쟁제품 대비 안정적인 제어 성능 (<0.5hPa)
적용
SEC : 300mm FAB. (Korea / China / USA)
Hynix : 300mm FAB. (Korea / China)
China 300mm Semiconductor FAB.
