피피테크

모바일 PCV series 제품 상세 페이지

PCV series

용도

Furnace Process중 가압 Process설비의
Chamber Pressure 제어 사용 (불순물제거 공정)
1기압~ 10기압까지 제어 가능

특징

Pressure Ramp up / Down 기능
Angle Set 기능 (Resolution 0.1%)
안정적인 제어성능 (<0.2 Torr)

적용

Confidential

제품 상세 페이지

PCV series

용도

Furnace Process중 가압 Process설비의
Chamber Pressure 제어 사용 (불순물제거 공정)
1기압~ 10기압까지 제어 가능

특징

Pressure Ramp up / Down 기능
Angle Set 기능 (Resolution 0.1%)
안정적인 제어성능 (<0.2 Torr)

적용

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