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제품소개

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모바일 TV series 제품 상세 페이지
TV series
TV series
용도
Furnace 설비의 Heater Intake Valve로
Temperature Down시 Air의 유입량 조절하여
Uniformity 향상을 위해 사용
(Heater Zone별 사용)
특징
정밀한 위치제어 (Angle Set Resolution 0.1%)
적용
SEC : 300mm FAB. (Korea)
Hynix : 300mm FAB. (Korea)
제품 상세 페이지
TV series
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용도
Furnace 설비의 Heater Intake Valve로
Temperature Down시 Air의 유입량 조절하여
Uniformity 향상을 위해 사용
(Heater Zone별 사용)
특징
정밀한 위치제어 (Angle Set Resolution 0.1%)
적용
SEC : 300mm FAB. (Korea)
Hynix : 300mm FAB. (Korea)