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제품소개

제품소개

모바일 DPC series 제품 상세 페이지
DPC series

용도
Furnace Process중 200mm Oxide/Anneal설비의
Chamber Pressure 제어 사용

특징
Motor / Bellow Type Linear Motion Control
경쟁제품 대비 안정적인 제어 성능 (<0.5Pa)

적용
론칭 중

제품 상세 페이지
DPC series

용도
Furnace Process중 200mm Oxide/Anneal설비의
Chamber Pressure 제어 사용

특징
Motor / Bellow Type Linear Motion Control
경쟁제품 대비 안정적인 제어 성능 (<0.5Pa)

적용
론칭 중